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    多靶磁控濺射鍍膜系統

    簡要描述:1.MS450是一臺高真空磁控濺射鍍膜設備。
    2.設備主要由真空室、濺射靶槍、濺射電源、加熱樣品臺、流量控制系統、真空獲得系統、真空測量系統、氣路系統、PLC+觸摸屏自動控制系統等組成。
    3.該設備主機與控制一體化設計,操控方便;結構緊湊,占地面積小。

    • 所在城市:無錫市
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新日期:2024-12-06
    • 訪  問  量:1081

    詳細介紹

    品牌LEBO/雷博
      1.MS450是一臺高真空磁控濺射鍍膜設備。
     
      2.設備主要由真空室、濺射靶槍、濺射電源、加熱樣品臺、流量控制系統、真空獲得系統、真空測量系統、氣路系統、PLC+觸摸屏自動控制系統等組成。
     
      3.該設備主機與控制一體化設計,操控方便;結構緊湊,占地面積小。
     
      4.主要用途:
     
      1. 開發納米級單層、多層及復合膜層等。
     
      2. 制備金屬膜、合金膜、半導體膜、陶瓷膜及介質膜等,例:銀、鋁、 銅、鎳、鉻、鎳鉻合金、氧化鈦、氮化鈦、氮化鉻、ITO......
     
      3. 兩靶單獨濺射、依次濺射、共同濺射。
     
      5.應用領域:
     
      1. 高校、科研院所的教學、科研實驗及生產型企業前期探索性實驗及開發新產品等。
     
      2. 鈣鈦礦太陽能電池、OLED、OPV 太陽能電池等行業。
     
     

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